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					 電子專用設備儀器“十二五”規劃（下）
				 
    
			  
    
			  		 	
    
  
    

    
     
    
    
      
    
      
            
    
                  
    
           
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    作者：
    
	        
    
	        	        
    
	          
    
	        
    
	      
    
            
            
    
      	          
    
          
     來源： 
    
         
    
                  
    
          
    
         
    
      
    
            
            
    
                
    
	          
    
	          									2017/07/25 18:09
			  
    
         
    
      
    
           
    
     
    
      
     		
    
         
    
         
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     【摘要】：
    
		       
    
	       	       
    
	      	3.新型元器件生產設備　　(1)中小尺寸有機發光顯示(OLED)生產設備研發及產業化　　解決無源有機發光顯示(PM-OLED)用有機蒸鍍和封裝等關鍵設備大面積化和低成本化等問題，重點發展蒸發源、掩模對位、玻璃和掩模板固定裝置等設備，進一步提高生產效率?！　￠_展中小尺寸有源有機發光顯示(AM-OLED)產品生產工藝和制造設備研發，突破濺鍍臺、PECVD系統、熱蒸發系統等AM-OLED用的薄膜晶體管(
	       
    
	    
    
         
    
     	    
    
		    
		    		    
		    
    
				
    
					
				
    
		     
    
	    
    
	 	 
    
    

   
   
    
         
    
       	       
    
	          
     關鍵詞：
    
	       
    
               
    
              	 	       		          
	          
		       
    
		         
    規劃
    
		       
    
		          
	        	                    	 	       		          
	          
		       
    
		         
    設備
    
		       
    
		          
	        	                    	 	       		          
	          
		       
    
		         
    測試
    
		       
    
		          
	        	                    	 	       		          
	          
		       
    
		         
    儀器
    
		       
    
		          
	        	                    	 	       		          
	          
		       
    
		         
    生產
    
		       
    
		          
	        	                    	 	       		          
	          
		       
    
		         
    技術
    
		       
    
		          
	        	                    	 	       		          
	          
		       
    
		         
    系統
    
		       
    
		          
	        	                    	 	       		          
	          
		       
    
		         
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    十二五中國電子專用設備產業發展目標
    
		        
    
	            
			 
    
		     	     
    
	       
		       
    
		          
     電子專用設備儀器“十二五”規劃（上）
    
		       
    
	           
	        		        
    
		           
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